Tube de quartz de diffusion LPCVD

Tube de quartz de diffusion LPCVD

Le tube de quartz de diffusion LPCVD peut être utilisé dans le LPCVD semi-conducteur pour faire réagir et déposer des composés gazeux sur la surface du substrat pour former des films solides stables sous basse pression par chauffage.
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Description

I.Candidature

Le tube de quartz de diffusion LPCVD peut être utilisé dans le LPCVD semi-conducteur pour faire réagir et déposer des composés gazeux sur la surface du substrat pour former des films solides stables sous basse pression par chauffage. Le LPCVD est utilisé pour déposer des Poly-Si, Si3N4, SiO2, du verre phosphore-silicium, du verre bore-phosphore-silicium, du silicium amorphe et des siliciures de métaux réfractaires et d'autres films minces.

 

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product-750-278

 

II. Caractéristique du produit

Le tube de quartz LPCVD présente une grande pureté, une faible résistance aux hydroxyles et aux hautes températures, etc.

 

III. type de produit

PQ181E, PQ181E H, PQ181E-R, PQ181EH-R

 

IV.Taille typique

Gamme OD

Tolérance OD

Tolérance WT

Glissement

Ovalité

Arc

OD<100.00

±1.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

100.00 Inférieur ou égal à OD<200.00

±1.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

200.00 Inférieur ou égal à OD<300.00

±1.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

300.00 Inférieur ou égal à OD<400.00

±1.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

400.00 Inférieur ou égal à OD<500.00

±1.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

500.00 Inférieur ou égal à OD<900.00

±2.00

±10.00 pour cent

15.00 pour cent

1.00 pour cent

0.10 %

 

 

V.Propriétés physiques et chimiques

je. Oligo-élémentsUnité: ppm

Code

Critère

Al

Californie

Cr

Cu

Fe

K

Li

mg

Mn

N / A

Ti

Zr

PQ181E

PQ181E-R

Typique

13

0.5

<0.05

<0.05

0.1

0.1

0.3

0.05

0.05

0.1

1.3

1

Maximum

19

1

0.1

0.1

0.5

1

1

0.2

0.2

1

2

2

PQ181EH

PQ181EH-R

Typique

8

0.6

<0.05

<0.01

0.1

0.1

0.2

0.05

0.05

0.1

1.3

1

Maximum

10

1

0.1

<0.01

0.5

0.5

0.5

0.2

0.2

0.5

2

2

Remarque : PQ181E-R/PQ181EH-R est un tube redimensionné de qualité semi-conducteur.

 

ii. Contenu OH

PQ181E/ PQ181EH

OH<10ppm

PQ181E-R/ PQ181EH-R

OH<30ppm

 

iii. Propriétés physiques

Article

Valeur de l'indice

Densité(g/cm3

2.2

Conductivité thermique (w/m·k, 1000 degrés)

2.28

Coefficient de dilatation thermique (degré)-1, 1000 degrés)

5.5×10-7

Point de ramollissement (degré)

1670

Point de recuit (degré)

1210

Point de contrainte (degré)

1110

 

iv. Coefficient de dilatation thermique et viscosité

 

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NOTRE PRODUIT PRINCIPAL

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PRINCIPALAPPLICATION

product-761-324

CAVANTAGE DE L'ENTREPRISE

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□ Certifié ISO9001, ISO14001

□Le produit a été certifié TEL, LAM, AMAT ;

□Situé dans la ville natale de quartz de Chine

□La pureté du SiO2 peut atteindre 99.995-99.999 %.

□Produits à quartz complets, fourniture d'éclairage, solaire, optique, fibre optique, semi-conducteur, etc.

□Marque mondialement connue

 

LABORATOIRE CERTIFIÉ CNAS

 

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product-709-161

 

PRINCIPAUX SITES DE PRODUCTION

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product-829-168

 

product-800-730

 

FAQ:

 

1. Auriez-vous une réduction si j'ai une commande importante ?
A:Oui, nous pourrions offrir différentes remises en fonction de la quantité de votre commande.

2. Dans quel domaine vos produits sont-ils appliqués ?

Nos produits sont largement utilisés dans les semi-conducteurs, le solaire, l'éclairage, la fibre optique, etc.

3. Acceptez-vous la conception personnalisée sur la taille ?
A:Oui, si la taille est raisonnable

4. Pourriez-vous imprimer le LOGO de notre société sur la plaque signalétique et l'emballage ?
A:Oui, nous pouvons le faire

5.fl Je ne sais pas de quel type de produit j'ai besoin, que dois-je faire ?
A: allez-y doucement, il vous suffit de nous fournir "pression de travail", "température" et "support". Ensuite, nous pouvons vous suggérer le produit le plus approprié, ou nous vous fournissons notre catalogue électronique pour votre référence, vous choisissez le modèle approprié, il vous suffit de nous indiquer le numéro de modèle.

6. Quel est votre MOQ ? Puis-je mélanger différents styles dans une commande de départ ?
R : Veuillez nous indiquer les produits dont vous avez besoin en premier.

7. Si j'ai un produit qui souhaite être fabriqué dans un autre matériau spécial, pouvez-vous le faire ?
A:Bien sûr, il vous suffit de nous fournir des dessins conçus ou un échantillon et le département R&D estimera que, que nous puissions le faire ou non, nous vous donnerons la réponse la plus satisfaisante.

 

Clients visitant et moment d'exposition:

 

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